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检具三坐标测量与三坐标测量零件的步骤是紧密相关的，以下是具体步骤：
检具三坐标测量步骤：
1、准备工作：确保检具已经制造完成并且符合设计要求，确认三坐标测量机已经开启并处于正常工作状态。
2、定位：将被测物体放置在三坐标测量机的工作台上，并进行初步定位。
3、建立坐标系：根据检具的特点和测量需求，在三坐标测量机上建立合适的坐标系。
4、测量：按照预设的测量路径进行检具的测量，记录测量数据。
5、数据处理与分析：对测量得到的数据进行必要的处理和分析，如生成测量报告、进行尺寸对比等。
6、评估与反馈：根据测量结果评估检具的精度和符合度，如有需要则进行反馈和调整。
三坐标测量零件步骤：
1、准备工作：确保零件已经加工完成并且表面无明显缺陷，确认三坐标测量机已经开启并处于正常工作状态。
2、放置零件：将零件放置在三坐标测量机的工作台上，并进行初步定位。
3、建立坐标系：根据零件的特点和测量需求，在三坐标测量机上建立合适的坐标系。
4、测量零件：按照预设的测量路径进行零件的测量，记录测量数据，这通常包括零件的各个尺寸、形状和位置等。
5、报告生成：将测量数据整理成报告形式，包括零件的尺寸图、公差分析等。
6、评估与决策：根据测量结果评估零件是否满足设计要求，如有需要则进行反馈和调整。
需要注意的是，进行三坐标测量时，操作员需要具备一定的专业知识和经验，以确保测量的准确性和可靠性，不同的零件和检具可能需要不同的测量方法和步骤，因此在实际操作中需要根据具体情况进行调整。